洁净室的洁净度一般是指洁净室内空气中大于、等于某一粒径的浮游粒子浓度(单位空 气体积内的粒子颗数)。洁净室洁净度等级在各国均有各自的标准规定,是不完全相同的。 为了推动洁净技术和标准的国际化,国际污染控制学会联盟(ICCCS)协同国际标准化组织 (ISO)制定了洁净度等级标准。该标准ISO 14664-1制成的级别表格见表9-20o
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