丝网除沫器喷雾热分解法是一种将前驱体溶液（金属溶液）喷人高温气氛中，立即引起溶剂的蒸发和金属盐的热分解，从而直接合成氧化物粉料的方法；也可称为喷雾焙烧法、火焰雾化法、溶液蒸发分解法。喷雾热分解法和喷雾干燥法适合连续操作，所以生产能力很强。喷雾热分解法最显著的优点是采用液相物质前驱体通过气溶胶过程得到最终产物，不需过滤、洗涤、干燥、烧结及再粉碎等过程，产品纯度高，分散性好，粒度均匀可控，可以制备多组分复合超细粉体。喷雾热分解法中有两种方法：一种方法是将溶液喷到加热的反应器中；另一种方法是将溶液喷到高温火焰中。多数场合使用可燃性溶剂（通常为乙醇），以利用其燃烧热。
在喷雾热分解法制备超细粉体过程中，雾化的气溶胶液滴进入干燥段反应器后，即发生如下的传热、传质过程：①溶剂由液滴表面蒸发为蒸气，蒸气由液滴表面向气相主体扩散；②溶剂蒸发使得液滴体积收缩；③溶质由液滴表面向中心扩散；④由气相主体向液滴表面传热；⑤液滴内部的热量传递。